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    2007

    成长潜力奖

    张江高科技园区

    2008

    工博会创新奖-12英寸65纳米单片晶圆清洗设备

    中国国际工业博览会组委会

    2009

    发明专利证书

    专利号:ZL 2009 1 0050834.2

    2010

    中国半导体创新产品和技术

    中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

    年度优秀创业者

    2011

    优秀参展产品奖-无应力抛铜

    中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

    优秀创业企业

    突出贡献企业

    上海市张江高新技术产业开发区管理委员会、上海市人力资源和社会保障局、上海市公务员局

    2012

    优秀参展金奖

    中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

    2013

    创业大赛优胜企业

    创业大赛组委会、上海市科技创业中心、上海市大学生科技创业基金会

    科学技术奖二等奖-单片晶圆清洗设备研发与应用

    上海市浦东新区人民政府

    工博会铜奖-兆声波单片清洗设备

    中国国际工业博览会组委会

    国家高新区百新企业

    中国高新技术产业导报、中国高新技术产业开发区协会、中国高新区研究中心

    2014

    发明专利证书

    专利号:ZL 2014 8 0079603.3

    2015

    发明专利证书

    专利号:ZL 2015 8 0080188.8

    2016

    新制程快速量产

    中芯

    2015年中国半导体设备十强单位

    中国电子专用设备工业协会

    感谢牌

    海力士

    2017

    科学技术奖三等奖-单片晶圆涂胶设备研发与应用

    上海市浦东新区人民政府

    上海市专利工作试点企业

    上海市知识产权局

    微信年度企业

    2016年中国半导体设备行业十强

    中国电子专用设备工业协会

    2018

    2017年中国半导体设备十强单位

    中国电子专用设备工业协会

    中国半导体创新产品和技术奖-先进封装电镀设备

    中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

    中国半导体创新产品和技术奖-TEBO

    中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

    创新奖-兆声波单片清洗机

    集成电路产业技术创新战略联盟

    2019

    2018年度优秀供应商

    华力

    2018年中国半导体设备五强企业

    中国半导体行业协会

    最佳成果奖

    SK海力士

    2019年卓越影响力上市企业

    张江科投企业年度交流会

    杰出企业

    久友基金

    华虹集团2019年供应商大会感谢牌

    华虹集团

    科技创新奖

    中国国际工业博览会组委会

    2018年中国半导体设备十强单位

    中国电子专用设备工业协会

    2018年度上海市集成电路设备业销售前十名

    上海市集成电路行业协会

    2020

    2019年度最具潜力供应商

    华力半导体

    开放创新合作奖

    华虹集团

    中国半导体创新产品和技术奖-Tahoe

    中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

    上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室

    上海市科学技术委员会

    2019年度中国半导体设备五强企业

    中国半导体行业协会

    2019年度上海集成电路行业设备业前十名

    上海市集成电路行业协会

    上海市科学技术奖一等奖

    上海市人民政府

    优秀创新奖

    SMIC、SMNC国产设备评审委员会

    感谢牌

    海力士无锡CNC技术全体成员

    2021

    上海职工劳动和技能竞赛二等奖

    上海市总工会

    2020-2021年度上海设计100+入围作品

    上海设计100+组委会

    上海市集成电路设备业销售前十名

    行业杰出贡献奖

    高新技术企业证书

    上海市科学技术委员会、上海市财政局、国家税务总局上海市税务局

    2022

    上海市集成电路外资企业半导体设备业销售前五名

    上海市集成电路行业协会

    成果产业化奖

    第五届“IC创新奖”

    2023

    上海市企业技术中心

    上海市经济和信息化委员会、国家税务总局上海市税务局、上海市财政局、上海海关

    进门财经

    2022年最佳机构覆盖IR团队

    2022年度公益慈善奖

    中共浦东新区川沙镇委员会、浦东新区川沙新镇人民政府

    TBB上海制造业品牌价值榜/SFEO上海企业品牌成长榜

    上海市工业经济联合会、上海市经济团体联合会、上海市商业联合会

    2022年度上海市集成电路内资半导体设备业销售前五名

    上海市集成电路行业协会

    专精特新“小巨人”企业

    工业和信息化部

    临港集团园区领军之星

    临港集团

    2023电子信息年度十大创新技术(SAPS)

    中国电子商会、数字经济观察网

    2024

    2023年度企业社会公益奖

    上海浦东川沙经济园区有限公司

    2023年度浦东新区经济突出贡献奖

    上海市浦东新区人民政府

    2023年度上海市集成电路设备业(内资)销售前五名

    上海市集成电路行业协会

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