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2021-12-2 17:30:34
pg电子游戏app上海自创的空间交变相位移(SAPS)晶圆清洗技术,在兆声波发生器和晶圆之间的间隙中采用兆声波的交替相位变化,与前几代兆声波晶圆清洗设备中使用的固定兆声波发生器不同,SAPS技术能够在晶圆旋转时移动或倾斜发生器,使兆声波能量均匀地传递到晶圆(即使晶圆有翘曲)上的所有点。SAPS工艺比传统兆声波清洗工艺更高效,不会造成材料损失或影响晶圆表面粗糙度,可实现更彻底、更全面的清洁。该技术已在1xnm DRAM设备及其他设备上得到验证。